برنامه ریزی به منظور ارتقای توسعه سکونتگاهی نیازمند دستیابی به معیارها و شرایطی است که آسایش و رضایتمندی افراد را از طریق برآوردن نیازهای مادی و روانی آنان پاسخ گوید. هدف از مطرح کردن مفهوم کیفیت توسعه سکونتگاهی اصلاح و تکامل مفهوم توسعه از توسعه صرف کمی، به توسعه پایدار بوده است. در تدوین شاخص های کیفیت توسعه سکونتگاهی به منظور مدل سازی، اولویت ها، انتظارات و نیازهای واقعی مردم در هر مقیاس مطالعه ضروری است. در این تحقیق برآن شدیم تا به تحلیل و ارزیابی کیفیت توسعه سکونتگاهی در نواحی شهری استان آذربایجان شرقی بپردازیم. روش های بکار گرفته شده ترکیبی نوین از روش های دلفی و تصمیم گیری چند معیاره DEMATEL، ANP و PROMETHEE II جهت رتبه بندی مورد مطالعه بوده است. در این تحقیق از روش دلفی جهت شناسایی معیارها زیرمعیارها و تکنیک دیماتل برای وابستگی متقابل بین آنها بهره گرفته شد. سپس این رابطه در فرآیند تجزیه و تحلیل شبکه ای پیاده سازی و گروه دلفی به مقایسه های زوجی حاصل از مرحله قبل امتیاز دادند که وزن هر کدام از زیرمعیارها بدست آمد. کارگاههای صنعتی و شاغلان بخش خدمات بالاترین وزن را به خود اختصاص دادند. در مرحله بعد این اوزان برای تعیین رتبه هر یک از نواحی شهر لحاظ شد و نتایج معیارهای ششگانه و 18 زیرمعیار برای 19 نواحی شهری نشان داد که شهرهای شهرستان تبریز بالاترین و کلیبر پایین ترین رتبه را در معیارهای در نظر گرفته شده دارا می باشند.