کاهش یا افزایش وقف بر صوفیه در دوره ایلخانی (735- 656 ق) با کسب مشروعیت از طریق اسلام پذیری و انطباق با فرهنگ و تمدن ایران رابطه مستقیم داشت. ایلخانان نامسلمان به کسب مشروعیت از طریق عرفا و مشایخ نیازی نداشتند و در نتیجه در دوره آنها وقف بر صوفیه راکد ماند. پس از سقوط خلافت بغداد و افزایش اسلام پذیری ایلخانان بر دست عرفا و مشایخ، وقف بر صوفیه در روند جدید حاکمیت ایلخانی رو به افزایش نهاد. برخی از شخصیت های مؤثر مانند خواجه رشیدالدین فضل الله در روند انطباق فرهنگی از طریق عرفا نقش مهمی داشتند. افزایش وقف بر صوفیه موجب بهبود وضع اقتصادی عرفا و مشایخ گردید و بنابراین، حکومت ایلخانان مسلمان برای عرفا و مشایخ هم از نظر مالی و هم از نظر معنوی و اجتماعی، سودمند بود.